Attrezzatura principale della linea di produzione automatizzata per la pulizia PR per produttori di display LCD
La linea di produzione automatizzata per la pulizia PR (photoresist) è un'apparecchiatura fondamentale per il processo a umido nella produzione di display LCD. Viene utilizzato principalmente dopo il processo di fotolitografia sul substrato dell'array per rimuovere completamente il fotoresist residuo, i residui di incisione e i micro-contaminanti superficiali. Si tratta di un'attrezzatura fondamentale per garantire la precisione del circuito del pannello e migliorare la resa del prodotto. Perfettamente adatto al rigoroso ambiente di produzione di una camera bianca di Classe 100, garantisce operazioni di pulizia a circuito chiuso-ad alta precisione, automatizzate e-prive di inquinamento.
Prendendo di mira i residui di fotoresist positivo e negativo dopo il processo di fotolitografia, utilizza un processo di pulizia a ultrasuoni multi-fase + risciacquo con acqua pura per rimuovere in profondità detriti, contaminanti organici, particelle di polvere e altre impurità rimanenti dopo l'incisione della fotolitografia. Può rimuovere accuratamente i residui microscopici inferiori a 0,5μm, prevenendo difetti come circuiti aperti del pannello, punti luminosi e macchie di Mura causati da impurità. In combinazione con un sistema di filtraggio ad alta-precisione da 0,1μm, previene la contaminazione secondaria. Raggiunge una rimozione completa e senza danni-, evitando l'impatto degli strati adesivi residui sui successivi processi di incisione e rivestimento, con un tasso di copertura della rimozione del 100%.
Il-modulo di controllo elettrostatico ESD integrato controlla rigorosamente il valore elettrostatico entro un intervallo inferiore o uguale a ±100 V. In combinazione con il materiale anti- della cavità e la tecnologia di distribuzione tramite ruota magnetica senza- contatto, evita che le scariche elettrostatiche danneggino i circuiti di precisione del pannello, prevenendo al tempo stesso graffi, scheggiature e generazione di polvere dovuti all'attrito sul substrato di vetro, massimizzando così la protezione dell'integrità del substrato.
Camera di prova a temperatura costante ad alta e bassa temperatura
Il nucleo delle apparecchiature automatizzate della linea di produzione di pulizia e asciugatura per i produttori di schermi LCD integra una doppia modalità di asciugatura: taglio con lama d'aria e asciugatura con aria calda a temperatura-costante. Questo rimuove rapidamente le macchie d'acqua dalla superficie del substrato, ottenendo un'asciugatura senza filigrane e senza tracce. Dopo l'essiccazione, il contenuto di umidità della superficie del substrato si avvicina allo zero, consentendo il trasferimento diretto al processo successivo senza lavorazione secondaria, garantendo la continuità del processo. Un sistema di controllo PLC consente operazioni a ciclo chiuso-completamente automatizzate di carico, posizionamento, pulizia e scarico. Supporta funzioni di monitoraggio e allarme in tempo reale-per la regolazione della concentrazione della soluzione detergente, della temperatura, dell'umidità e della pulizia. La camera sigillata e il design a pressione negativa gradiente impediscono perdite di gas chimico. Combinato con l'ambiente a pressione positiva di una camera bianca di Classe 100, consente inoltre il riciclo dell'acqua ultrapura e la classificazione e il recupero dei liquidi di scarto, soddisfacendo sia i requisiti di risparmio energetico che quelli di protezione ambientale.
Rispetto alla pulizia manuale tradizionale, le linee di produzione di pulizia PR completamente automatizzate presentano vantaggi insostituibili: l'efficienza della pulizia è aumentata di oltre 3 volte e quasi 10.000 substrati di vetro possono essere trattati per turno, accorciando significativamente il ciclo di processo; la consistenza della pulizia è eccellente, rimuovendo accuratamente i micro-residui inferiori a 0,5μm, controllando il tasso di difetti del pannello entro 0,5PPM, evitando efficacemente difetti come punti luminosi, punti scuri e interruzioni del circuito sullo schermo; l'apparecchiatura adotta un design per il risparmio idrico ed energetico, con un elevato tasso di recupero dell'acqua pura e raccolta e trattamento classificati delle acque reflue, soddisfacendo i requisiti di produzione di protezione ambientale; l'intera macchina è realizzata in PVC-resistente alla corrosione e acciaio inossidabile SUS304, con forte tenuta, facile pulizia e manutenzione ed è adatta per il funzionamento continuo 24-ore in camere bianche, diventando attrezzatura standard per i produttori di schermi LCD per costruire linee di prodotti di fascia alta e migliorare la competitività di base.
Attrezzatura principale nel laboratorio di fotolitografia dei produttori di display LCD
L'apparecchiatura di esposizione è l'attrezzatura principale del laboratorio di fotolitografia e un'area di processo chiave nel processo di produzione degli array LCD. Conosciuta anche come macchina per litografia a pannello, è un dispositivo ottico-per il processo a umido ad alta precisione. La sua funzione principale è trasferire il modello di progettazione del circuito del substrato su un substrato di vetro rivestito con fotoresist attraverso l'esposizione ottica, che è fondamentale per la formazione di micro-circuiti nel pannello. Il trasferimento preciso dello schema circuitale dalla fotomaschera al substrato di vetro è il prerequisito per i successivi processi di incisione, rivestimento e pulizia PR, che determinano direttamente la qualità dello schermo di visualizzazione. L'apparecchiatura utilizza un processo di esposizione senza-contatto, adatto a substrati di vetro LCD sottili e di grandi- dimensioni, evitando graffi, danni e contaminazione del substrato.
Le principali caratteristiche tecnologiche includono un sistema di allineamento ad alta-precisione con accuratezza di sovrapposizione a livello di micron-o addirittura inferiore a-micron-, garantendo zero disallineamenti nell'impilamento di circuiti multi-strato con errori controllati entro pochi millesimi del diametro di un capello; l'uso di una sorgente luminosa di esposizione uniforme e di una tecnologia di messa a fuoco dinamica per ottenere fluttuazioni dell'energia di esposizione<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
L'intero laboratorio utilizza una sorgente di luce gialla monocromatica da 589 nm, che filtra completamente la luce a lunghezza d'onda corta-come la luce ultravioletta, blu e bianca, impedendo a questi raggi di innescare prematuramente reazioni fotochimiche nel fotoresist, causando difetti fatali come disallineamento del modello, linee incomplete, cortocircuiti e circuiti aperti. Il sistema di illuminazione utilizza una combinazione di LED gialli dedicati e filtri a doppio strato- per evitare perdite di luce diffusa; porte, finestre e finestre di osservazione sono dotate di materiali filtranti anti-ultravioletti; telefoni cellulari, fotocamere, torce elettriche ad alta{5}}potenza e altre fonti di luce esterne sono severamente vietati all'interno dell'officina e viene implementato un controllo completo della disciplina della luce-dell'area per eliminare il rischio di esposizione prematura del fotoresist dalla fonte.
Introduzione alle camere bianche di Classe 100 per i produttori di display LCD
Nel campo della produzione di LCD ad alta-precisione, le camere bianche di Classe 100 (camere bianche ISO Classe 5) rappresentano l'impianto di produzione principale e un indicatore chiave della forza tecnica e della resa del prodotto di un produttore. Sono ampiamente utilizzati nelle fasi fondamentali del processo come array, assemblaggio di celle e confezionamento di moduli da aziende leader nel settore dei display come BOE, TCL CSOT, HKC e Tianma. Queste camere bianche hanno standard di pulizia rigorosi, con non più di 100 particelle di polvere sospese superiori o uguali a 0,5 μm di diametro per piede cubo d'aria (inferiori o uguali a 3520 per metro cubo). Questo livello di pulizia supera di gran lunga quello delle sale operatorie mediche, fungendo da "barriera fondamentale" per impedire che polvere, elettricità statica e contaminanti chimici interferiscano con i processi di precisione. È un componente hardware fondamentale che determina direttamente la qualità dell'immagine, la durata e il rendimento dello schermo.
L'officina è progettata e costruita rigorosamente in conformità con gli standard nazionali e internazionali ISO. Adotta una modalità di flusso d'aria unidirezionale verticale, abbinata a un sistema di filtraggio ULPA a quattro-stadi (pre-filtro, filtro a media-efficienza, filtro ad alta-efficienza e filtro a efficienza ultra-alta-), raggiungendo un'efficienza di filtrazione fino al 99,999%, garantendo la rimozione istantanea della polvere ed eliminando le zone morte del flusso d'aria. Allo stesso tempo, si ottiene un controllo ambientale preciso in tutte le dimensioni: una temperatura costante di 23±1 gradi, un'umidità relativa controllata al 45%-55%, uno stato di pressione positiva mantenuto nell'area pulita e una differenza di pressione maggiore o uguale a 10 Pa tra aree adiacenti, impedendo completamente l'infiltrazione di polvere esterna; considerando la suscettibilità dei pannelli espositivi ai danni elettrostatici, vengono utilizzati pavimenti autolivellanti epossidici antistatici-e piastre in acciaio inossidabile 304 e color acciaio per camere bianche per pareti e soffitti, con un controllo rigoroso dei valori di elettricità statica durante tutto il processo; viene fornito un controllo aggiuntivo per gli inquinanti chimici COV a livello molecolare-e le interferenze latenti come le microvibrazioni, soddisfacendo i requisiti dei processi su scala nanometrica come la fotolitografia, la deposizione di film sottili e l'iniezione di cristalli liquidi.
L'officina adotta un design di zonizzazione per camere bianche a più livelli, suddiviso in un'area centrale di Classe 100, un'area buffer di Classe 1000 e un'area ausiliaria di Classe 10.000, con strati che impediscono la contaminazione incrociata- e le linee di trasporto del personale e dei materiali automatizzate sono completamente separate. Il personale deve sottoporsi a un triplo processo di cambio degli indumenti, doccia d'aria e rilevamento elettrostatico e può entrare solo dopo aver indossato una tuta intera-per camera bianca, guanti-antipolvere e occhiali protettivi; i materiali vengono trasferiti attraverso finestre di trasferimento interbloccate e sottoposti a trattamento di rimozione delle polveri e dell'elettricità statica; l'interno è dotato di cappe a flusso laminare FFU, contatori di particelle online, sensori di temperatura e umidità, monitor della pressione differenziale e altre apparecchiature per ottenere il monitoraggio in tempo reale 24-ore e la tracciabilità dei dati, inoltre emetteranno immediatamente avvisi e apporteranno modifiche in caso di indicatori anomali per garantire una stabilità ambientale continua.
